İTÜ
Lisansüstü Ders Katalog Formu

(VLSI Teknolojisinde Temel Süreçler Dersi)

AdıVLSI Teknolojisinde Temel Süreçler (Basic Processes in VLSI technologies)
Kodu ve SeviyesiELE602 - Doktora
ProgramElektronik Mühendisliği
Dili ve DönemiTürkçe - Güz/Bahar
TürüSeçmeli*
Kredisi3
ACTS (ECTS) Kredisi7.5
* Burada yer alan dersin türü sadece dersin ait olduğu program için geçerlidir. Diğer programlar için farklılık gösterebilir.

Bu dersin amacı;

#Amaçlar
1Modern devre elemanlarının ve tüm devrelerinin üretim süreçleri.
2Üretim sürecinde farklı disiplinlerin (elektronik, malzeme bilimi, fizik, kimya v.b.) ürün geliştirmedeki önemi.
3Teknolojinin sınırları, inovatif malzemeler, yapılar, proses teknikleri.
4Konvonsiyonel ve derin mikronaltı üretim süreçlerindeki süreç faklılıkları.
5Elektronik bilgisine yeni bir bakış açısı.

Bu derste aşağıdaki çıktıların elde edilmesi hedeflenmiştir;

#Hedeflenen Çıktılar
1Mikroelektroniğin gelişimi ve güncel endüstriyel ve ekonomik konumu ile ilgili bilgi edinir.
2Silisyum tabanlı tümdevre üretim süreçlerinin temel adımlarını öğrenir.
3VLSI ve ULSI teknolojilerinde üretim süreci problemlerini öğrenir.
4Konvonsiyonel ve derin mikronaltı üretim süreçlerindeki süreç faklılıklarını öğrenir.

Bu derste aşağıdaki kaynaklar kulllanılmaktadır;

#Kaynaklar
1Jaeger, R. C. (2002). Introduction to Microelectronic Fabrication. vol. V of the Modular Series on Slolide State Dveices), 2nd Edition, Upper Saddle River, New Jersey, Prentice Hall.
2Plummer, J. D., Deal, M., Griffin, P. D. (2000). Silicon VLSI Technology: Fundamentals, Practice, and Modeling. Prentice Hall; 1 edition.
3Sze, S. M. (1983). VLSI Technology, McGraw-Hill, New York.
4Wolf, S., Tauber, R. N. (1999). Silicon Processing for the VLSI Era. Vol. 1: Process Technology, Lattice Press; 2nd edition.
5Wolf, S. ve Tauber, R. N. (2000). Silicon Processing for the VLSI Era. Volume 1-Process Technology, Lattice Press.

Bu derste haftalar bazında aşağıdaki plan izlenmektedir;

HaftaKonuİlgili Çıktı
1Silisyum ve GaAs teknolojilerine genel bakış1
2Konvansiyonel ve derin mikronaltı tümdevre teknolojisinde MOS transistor yapılarının karşılaştırılması1
3Tümdevre üretim sürecinde temel adımlar1
4Plazma proseslerinde gaz kinetiği1
5Litografi ve fotorezistler1, 2, 4
6Kalın ve ince termal oksitlerin büyütülmesi ve yeni geçit olsit malzemeleri1, 2, 4
7CVD ile tabaka oluşturma süreci1, 2, 4
8PVD ie tabaka oluşturma süreci2, 4
9Difüzyon yoluyla katkılama2, 4
10İyon ekme3
11Plazma aşındırma süreci3, 4
12Kimyasal ve mekanik aşındırma3, 4
13Kontak yapıları silisit ve SALICID süreçleri3, 4
14CMOS proses entegrasyonu3, 4

Bu ders ait olduğu programın mezuna kazandıracağı bilgi, beceri ve yetkinliklere aşağıdaki şekilde katkı sağlamaktadır; (En düşük katkı düzeyi '0', en yüksek katkı düzeyi '3' olarak kabül edilmiştir.)


0
3 Üzerinden
Bilgi ve beceri : Elektronik Mühendisliği alanında bilgilerini uzmanlık düzeyinde geliştirebilme ve bu bilgileri kullanarak, sorunları çözümleyebilme ve yeni bilgiler üretebilme
Elektronik Mühendisliği alanında bilgilerini uzmanlık düzeyinde geliştirebilme ve bu bilgileri kullanarak, sorunları çözümleyebilme ve yeni bilgiler üretebilme


0
3 Üzerinden
Beceri : Elektronik Mühendisliği’nin ilişkili olduğu disiplinler arası etkileşimi kavrayabilme, edindiği bilgileri farklı disiplin alanlarından gelen bilgilerle bütünleştirerek yorumlayabilme ve yeni bilgiler oluşturabilme
Elektronik Mühendisliği’nin ilişkili olduğu disiplinler arası etkileşimi kavrayabilme, edindiği bilgileri farklı disiplin alanlarından gelen bilgilerle bütünleştirerek yorumlayabilme ve yeni bilgiler oluşturabilme


0
3 Üzerinden
Bağımsız Çalışabilme ve Sorumluluk Alabilme Yetkinliği : Elektronik Mühendisliği ile ilgili uzmanlık gerektiren sorunların çözümü için yeni stratejik yaklaşımlar geliştirebilme ve sorumluluk alarak çözüm üretebilme ve gerektiğinde liderlik yapabilme
Elektronik Mühendisliği ile ilgili uzmanlık gerektiren sorunların çözümü için yeni stratejik yaklaşımlar geliştirebilme ve sorumluluk alarak çözüm üretebilme ve gerektiğinde liderlik yapabilme


0
3 Üzerinden
Öğrenme Yetkinliği : Elektronik Mühendisliği’nde edindiği uzmanlık düzeyindeki bilgi ve becerileri eleştirel bir yaklaşımla değerlendirebilme
Elektronik Mühendisliği’nde edindiği uzmanlık düzeyindeki bilgi ve becerileri eleştirel bir yaklaşımla değerlendirebilme


0
3 Üzerinden
İletişim ve Sosyal Yetkinlik : Elektronik Mühendisliği’ndeki güncel gelişmeleri ve kendi çalışmalarını ulusal veya uluslar arası gruplara, yazılı, sözlü ve görsel olarak sistemli biçimde aktarabilme
Elektronik Mühendisliği’ndeki güncel gelişmeleri ve kendi çalışmalarını ulusal veya uluslar arası gruplara, yazılı, sözlü ve görsel olarak sistemli biçimde aktarabilme


0
3 Üzerinden
İletişim ve sosyal yetkinlik . İngilizce kullanarak sözlü ve yazılı iletişim kurabilme
İngilizce kullanarak sözlü ve yazılı iletişim kurabilme


0
3 Üzerinden
İletişim ve Sosyal Yetkinlik : Bilgisayar yazılımı ve iletişim teknolojilerini yüksek düzeyde kullanabilme
Bilgisayar yazılımı ve iletişim teknolojilerini yüksek düzeyde kullanabilme


0
3 Üzerinden
Alana Özgü Yetkinlik : Elektronik Mühendisliği ile ilgili verilerin toplanması, yorumlanması, uygulanması ve duyurulması aşamalarında toplumsal, bilimsel, kültürel ve etik değerleri gözeterek denetleyebilme ve bu değerleri öğretebilme
Elektronik Mühendisliği ile ilgili verilerin toplanması, yorumlanması, uygulanması ve duyurulması aşamalarında toplumsal, bilimsel, kültürel ve etik değerleri gözeterek denetleyebilme ve bu değerleri öğretebilme


0
3 Üzerinden
Alana Özgü Yetkinlik : Elektronik Mühendisliği ile ilgili konularda uygulama planları geliştirebilme ve elde edilen sonuçları, kalite süreçleri çerçevesinde değerlendirebilme
Elektronik Mühendisliği ile ilgili konularda uygulama planları geliştirebilme ve elde edilen sonuçları, kalite süreçleri çerçevesinde değerlendirebilme


2
3 Üzerinden
bilgi : Lisans ve/veya yüksek lisans bilgilerine dayalı olarak, Elektronik Mühendisliği alanındaki ileri düzeydeki bilgileri özgün düşünce ve araştırma ile uzmanlık düzeyinde geliştirebilme, derinleştirebilme ve alanına yenilik getirecek özgün tanımlara ulaşabilme
Lisans ve/veya yüksek lisans bilgilerine dayalı olarak, Elektronik Mühendisliği alanındaki ileri düzeydeki bilgileri özgün düşünce ve araştırma ile uzmanlık düzeyinde geliştirebilme, derinleştirebilme ve alanına yenilik getirecek özgün tanımlara ulaşabilme


3
3 Üzerinden
Beceri : Elektronik Mühendisliği’nin ilişkili olduğu disiplinler arası etkileşimi kavrayabilme, edindiği bilgileri farklı disiplin alanlarından gelen bilgilerle bütünleştirerek yorumlayabilme ve özgün bilgiler oluşturabilme
Elektronik Mühendisliği’nin ilişkili olduğu disiplinler arası etkileşimi kavrayabilme, edindiği bilgileri farklı disiplin alanlarından gelen bilgilerle bütünleştirerek yorumlayabilme ve özgün bilgiler oluşturabilme


1
3 Üzerinden
Beceri ve öğrenme yetkinliği : Elektronik Mühendisliği’nde yenilik getiren, yeni bir düşünce, yöntem, tasarım ve/veya uygulama geliştirebilme ya da bilinen bir düşünce, yöntem, tasarım ve/veya uygulamayı farklı bir alana uygulayabilme, özgün bir konuyu bağımsız olarak araştırabilme, kavrayabilme, tasarlayabilme, uyarlayabilme
Elektronik Mühendisliği’nde yenilik getiren, yeni bir düşünce, yöntem, tasarım ve/veya uygulama geliştirebilme ya da bilinen bir düşünce, yöntem, tasarım ve/veya uygulamayı farklı bir alana uygulayabilme, özgün bir konuyu bağımsız olarak araştırabilme, kavrayabilme, tasarlayabilme, uyarlayabilme


2
3 Üzerinden
Bağımsız Çalışabilme ve Sorumluluk Alabilme Yetkinliği : Elektronik Mühendisliği ile ilgili özgün bir eser üreterek alanındaki bilginin sınırlarını genişletebilme
Elektronik Mühendisliği ile ilgili özgün bir eser üreterek alanındaki bilginin sınırlarını genişletebilme


1
3 Üzerinden
Bağımsız Çalışabilme ve Sorumluluk Alabilme Yetkinliği : Özgün ve disiplinler arası sorunların çözümlenmesini gerektiren ortamlarda liderlik yapabilme
Özgün ve disiplinler arası sorunların çözümlenmesini gerektiren ortamlarda liderlik yapabilme


1
3 Üzerinden
İletişim ve Sosyal Yetkinlik : Uluslararası platformlarda, uzman kişiler ile alanındaki konuların tartışılmasında özgün görüşlerini savunabilme ve alanındaki yetkinliğini gösteren etkili bir iletişim kurabilme
Uluslararası platformlarda, uzman kişiler ile alanındaki konuların tartışılmasında özgün görüşlerini savunabilme ve alanındaki yetkinliğini gösteren etkili bir iletişim kurabilme


1
3 Üzerinden
İletişim ve Sosyal Yetkinlik : İngilizce’yi kullanarak yazılı ve sözlü iletişim kurabilme ve tartışabilme
İngilizce’yi kullanarak yazılı ve sözlü iletişim kurabilme ve tartışabilme


2
3 Üzerinden
Alana Özgü Yetkinlik : Elektronik Mühendisliği ile ilgili karşılaşılan sorunların çözümünde stratejik karar verme süreçlerini kullanarak işlevsel etkileşim kurabilme
Elektronik Mühendisliği ile ilgili karşılaşılan sorunların çözümünde stratejik karar verme süreçlerini kullanarak işlevsel etkileşim kurabilme


2
3 Üzerinden
Alana Özgü Yetkinlik : Elektronik Mühendisliği ile ilgili konularda karşılaşılan bilimsel ve etik sorunların çözümüne katkıda bulunabilme ve bu değerlerin gelişimini destekleyebilme
Elektronik Mühendisliği ile ilgili konularda karşılaşılan bilimsel ve etik sorunların çözümüne katkıda bulunabilme ve bu değerlerin gelişimini destekleyebilme